2006-02-23 ウェハ近影 #練習用 現在,製作途中のウェハ これからBHFにつけて,酸化膜をすべて除去し, 酸化炉に入れて今度はフィールド酸化膜を作ります. アンモニア酸化に4時間半. その後,ドライブインが12時間.